扫描电子显微镜
TESCAN VEGA 3 XMH
扫描电子显微镜具有景深大、分辨率高, 成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点;另外具有几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。
其利用细聚焦的电子束轰击样品表面,通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。
此外,扫描电子显微镜和能谱仪(EDS)相结合, 可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析
用途:
● 表面形貌观察(异物)
● 断面观察(IMC、富磷层等)
● 断口分析(金属断裂面纹路分析)
代表性图片: