EDS分析
简述：
X射线能谱分析（EDS）是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，其结合扫描电子显微镜SEM，能够更清晰精准地对指定位置或异物进行成分分析，从而同时获得表面形貌与成分的数据信息。
使用标准：GB/T 17359-2012 微束、能谱法定量分析
探测元素范围：Be4～U92
试样制备：EDS的定量分析结果的准确性与试样制备技术密切相关，要根据试样的不同特点，制备满足定量分析要求的试样。实际分析中，许多情况下无法得到平的试样，如粉体、断口及不能破坏的零部件等。这类试样仍然可以用EDS分析，虽然定量准确度少差，但许多情况下可以满足实际要求，例如金属中夹杂、玻璃中结石等。
示例：
1.铝材成分
谱图 12 |
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元素 | 线类型 | 重量百分比 | Wt % Sigma | 原子百分比 |
Al | K线系 | 97.05 | 0.41 | 97.05 |
Mg | K线系 | 2.42 | 0.11 | 2.69 |
Ti | K线系 | 0.00 | 0.11 | 0.00 |
V | K线系 | 0.06 | 0.12 | 0.03 |
Cr | K线系 | 0.30 | 0.13 | 0.16 |
Mn | K线系 | 0.04 | 0.13 | 0.02 |
Fe | K线系 | 0.03 | 0.15 | 0.02 |
Ni | K线系 | 0.08 | 0.17 | 0.03 |
Si | K线系 | 0.00 | 0.15 | 0.00 |
Cu | K线系 | 0.00 | 0.21 | 0.00 |
Zn | K线系 | 0.01 | 0.26 | 0.00 |
总量 |
| 100.00 |
| 100.00 |
2.锡膏成分：
谱图 1 |
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元素 | 线类型 | 重量百分比 | Wt % Sigma | 原子百分比 |
Sn | L线系 | 99.09 | 0.36 | 98.57 |
Ag | L线系 | 0.34 | 0.27 | 0.38 |
Cu | K线系 | 0.57 | 0.24 | 1.05 |
总量 |
| 100.00 |
| 100.00 |
